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电感式轮廓仪
一种将触针位移转换为电感信号的表面粗糙度测量仪。当电感式传感器的触针沿被测表面均速滑行时,触针的上下位移带动了磁芯运动,从而改变电桥两臂电感线圈的电感量,输出与触针位移成比例的电信号,经放大和运算等处理,即可获得表面粗糙度参数值和轮廓的记录图形。这类仪器精度高,可测量高度参数Rₐ,Rz和Ry,间距参数Sm,S以及支承系数tp等十几个参数,测量范围:Rₐ值10~0.02μm,Rz和Ry值50~0.2μm,示值误差不大于10%或7%。
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