电感式轮廓仪

一种将触针位移转换为电感信号的表面粗糙度测量仪。当电感式传感器的触针沿被测表面均速滑行时，触针的上下位移带动了磁芯运动，从而改变电桥两臂电感线圈的电感量，输出与触针位移成比例的电信号，经放大和运算等处理，即可获得表面粗糙度参数值和轮廓的记录图形。这类仪器精度高，可测量高度参数Rₐ，Rz和Ry，间距参数Sm，S以及支承系数tp等十几个参数，测量范围：Rₐ值10～0.02μm，Rz和Ry值50～0.2μm，示值误差不大于10％或7％。